Вакуумные насосы

Вакуумный насос — устройство, служащее для удаления (откачки) газов или паров до определённого уровня давления (технического вакуума).

Принципы работы

Объёмные насосы осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры. В основном они используются для получения предварительного разрежения (форвакуума). К ним относятся поршневые, жидкостно-кольцевые, ротационные (вращательные). Наибольшее распространение в вакуумной технике получили вращательные насосы.

К высоковакуумным механическим насосам относятся: пароструйные насосы (парортутные и паромасляные), турбомолекулярные насосы. Молекулярные насосы осуществляют откачку за счёт передачи молекулам газа количества движения от твёрдой, жидкой или парообразной быстродвижущейся поверхности. К ним относятся водоструйные, эжекторные, диффузионные молекулярные насосы с одинаковым направлением движения откачивающей поверхности и молекул газа и турбомолекулярные насосы с взаимно перпендикулярным движением твёрдых поверхностей и откачиваемого газа.

Классификация насосов по конструктивному признаку

• Механические

  • Поршневые

  • Диафрагменные

  • Пластинчато-роторные (в том числе водокольцевые)

  • Винтовые

  • Рутса

  • Золотниковые

  • Спиральные

• Магниторазрядные

• Струйные

  • Паромасляные диффузионные

  • Паромасляные бустерные

• Сорбционные

• Криогенные

PIAB (Швеция), DVP (Италия)